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產品特點:
l 新的緊湊設計,最大限度地減少占地面積
l 全彩色7英寸觸摸屏顯示屏
l 高密度聚乙烯(HDPE)內腔,實現最大的化學兼容性
l 耐用的工作臺設計,可轉換為法蘭/甲板安裝配置(可安裝在X-Pro II工作站中)
l DataStream™ 技術作為標準接口
技術參數:
l 觸摸屏界面和顯示器
l 支持全彩色字母數字的圖形用戶界面(GUI)
l 用戶定義的配方程序步驟數量幾乎不限
l 步進時間的分辨率為0.1秒(最大步進時間為9999.9秒)
l 旋轉速度:12000 rpm
l 旋轉速度加速:
0~30000 rpm/s(空載);
0~23000 rpm/s(200 mm基板);
0~3000 rpm/s(凹卡盤中帶有6”×6”×0.250”光罩)
l 連接:USB/以太網端口,用于通過數據流上傳/下載過程參數™ 技術
l 同步雙自動分配功能
l 過程中/動態速度/加速度控制
精確性:
l 轉速重復性:<0.2 rpm
l 轉速分辨率:<0.2 rpm
l 基底尺寸:圓形小于1厘米至200毫米;7英寸x 7英寸正方形
可靠性:
l 間接驅動系統保護旋轉電機不接觸工藝化學品和溶劑
l 真空和蓋聯鎖
l 業界領先的可靠性和正常運行時間
l 1年全面保修
l 在產品生命周期內免費提供遠程技術支持(電話、電子郵件、傳真)
l 產品生命周期的應用過程協助
耐腐蝕內腔:
l 高密度聚乙烯(HDPE)旋轉碗,確保材料兼容性
l 可選聚乙烯一次性襯里
l 多功能蓋子設計,可實現工藝靈活性和可重復性
l 惰性旋轉環境的可選氮氣吹掃
l 集成排放口和排氣口
尺寸和重量:
l 13.25” (33.65 cm) W × 19” (48.26 cm) D × 12” (30.48 cm) H
l 機器重量:40磅(18.14千克)
l 裝運重量:100磅(45.36千克)
電源及接口
l 電壓范圍:100-125、208-240 VAC、50/60 Hz
l 功率要求:655瓦
l 排廢口:外徑¾”
l 排氣口:外徑1英寸
l 真空度:20至25“Hg
l 排氣:20 to 50 cfm at 0.2” water
l 氮氣或CDA(用于自動分配):70 psi
了解更多產品信息,請聯系Helicoater工作人員,400 860 1856.