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HC160PE可編程勻膠機，采用高級PLC 全自動程序控制，轉(zhuǎn)速精度高，穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

特點：

•設(shè)計緊湊，可放置在手套箱內(nèi)；

•4.3英寸彩色觸屏控制，人機界面；

•經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；

•內(nèi)腔壁采用獨特的凹面設(shè)計，有效防濺；

•高級PLC全自動程序控制，可編程；

•帶真空度安全互鎖檢測功能；

•帶蓋子安全互鎖檢測功能；

•帶排廢接口；

•配置一個自動點膠接口，可升級自動點膠系統(tǒng)；

•可設(shè)置用戶密碼保護功能；

•配置可調(diào)基座，方便調(diào)節(jié)水平；

了解更多產(chǎn)品信息，請聯(lián)系Helicoater工作人員，400 860 1856.

技術(shù)參數(shù)：

•適用晶元尺寸范圍：Ø5~160mm；

•旋涂速度：100~12000rpm；

•轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；

•旋涂加速度：100-30000rpm/s；

•最大旋涂時間：3000s；

•旋涂時間精度：0.1s；

•內(nèi)腔直徑220mm，內(nèi)腔壁采用獨特的凹面防濺設(shè)計；

•具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

•電源輸入：AC200-230V；

CNC一體成型的HDPE高分子耐腐蝕內(nèi)腔

                                             帶排廢接口

設(shè)備外形尺寸：長X寬X高：310X254X250mm

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設(shè)備照片：

不銹鋼外殼，耐腐蝕HDPE內(nèi)腔，4.3英寸彩色觸屏配合高級PLC編程控制。

可調(diào)基腳

隨意停鉸鏈

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