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如何選購勻膠機旋涂儀
作者：Helicoater 時間：2021-12-22 累積關注：4049 次
選購勻膠機（spin coater）的三要素
勻膠機有很多種稱謂，（英文叫Spin Coater或者Spin Processor），又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。
針對目前勻膠機市場品牌眾多，良莠不齊現象，筆者結合自己多年從事勻膠機技術服務的實際經驗。幫助廣大用戶提高辨別能力，為用戶提供了直觀明確的選擇標準。
從其原理來說，我們可以看出選購勻膠機需要注意的三個要素：
1、旋轉速度控制精度
轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。有的品牌的勻膠機仍在采用旋鈕或按鍵的控制方式，操作不便利，精度也很粗糙，無法實現精確控制。某些勻膠機只能提供轉速范圍，并不能精確標定實時的轉速。這也都是不合格的勻膠機。目前也有做的比較好的品牌，比如赫里科特（helicoater）的HC系列勻膠機，淘汰了落后的控制方式，全部采用彩色觸摸屏加高級PLC進行程序控制，使用體驗非常好。
2、真空吸附系統的構造
首先提供真空的真空泵一定要采用無油真空泵，還要考慮由于誤操作導致的意外吸膠，如果氣路被膠液堵塞，將損壞設備內的電子器件，堵塞電機軸，而且維修困難，影響設備的正常使用。在防堵膠方面，赫里科特（Helicoater）的做法值得推廣，HC系列勻膠機均配置有儲液腔，當有膠液意外進入管路，將在儲液腔內截留并存儲，不會影響管路后續元器件的正常使用，定期清理也很方便。這個特殊的設計非常有用，成為勻膠機設備的一個額外的保險裝置。為了防止由于真空度不足，導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況，赫里科特（helicoater）全系列勻膠機（HC150，HC160，HC220）均配置有真空安全檢測裝置和蓋子安全互鎖裝置，確保操作者安全。
3、材質的選擇
對于半導體化工行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，有些低端勻膠機采用的是PP注塑成型的內腔，或者是采用沖壓成型的金屬盆做為內腔，這些材質對各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，而且這種內腔是呈上口大下口小的錐形，高速旋涂過程中，甩出的溶液與內腔壁碰撞后，會回濺到基片上，造成基片質量下降。造成這種情況的原因是，注塑成型或沖壓成型加工方式為了便于脫模，必須加工成上口大下口小的形狀，材料成本低，加工成本也低，損害的設備的品質，降低了用戶使用體驗。在這個細節方面，赫里科特（Helicoater）堅持采用大尺寸耐腐蝕HDPE材料，采用CNC加工中心按照圖紙一體化精細加工成型，內腔表面光潔，內腔壁呈凹面結構，上口小，下口大，高速甩出的溶液與內腔壁碰撞后，向下方濺射，有效避免了膠液回濺，對于重視薄膜質量的用戶來講，這將非常關鍵。